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川大智胜申请一种合光棱镜的制备方法光刻装置及三维测量装置专利,简化三维测量装置生产工艺

奚诗科技 奚诗科技 07-30 【知识】 73人已围观

摘要金融界2024年7月28日消息,天眼查知识产权信息显示,四川川大智胜软件股份有限公司申请一项名为“一种合光棱镜的制备方法、光刻装置及三维测量装置“,公开号CN202410531537.4,申请日期为2024年4月。专利摘要显示,本发明涉及光学加工领域,公开了一种合光棱镜的制备方法、光刻装置及三维测量装置。本发明的制备方法至少包括:在四棱柱棱镜入射面涂覆感光胶;通过使四棱柱棱镜沿中心轴线与调节机构转动轴保持同轴的方式将涂覆感光胶的四棱柱棱镜装夹至光刻曝光室内;利用光刻光源和光刻母版对四棱柱棱镜的入

金融界2024年7月28日消息,天眼查知识产权信息显示,四川川大智胜软件股份有限公司申请一项名为“一种合光棱镜的制备方法、光刻装置及三维测量装置“,公开号CN202410531537.4,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本发明涉及光学加工领域,公开了一种合光棱镜的制备方法、光刻装置及三维测量装置。本发明的制备方法至少包括:在四棱柱棱镜入射面涂覆感光胶;通过使四棱柱棱镜沿中心轴线与调节机构转动轴保持同轴的方式将涂覆感光胶的四棱柱棱镜装夹至光刻曝光室内;利用光刻光源和光刻母版对四棱柱棱镜的入射面逐一进行光刻,使得入射面生成光栅条纹;并且在两次连续光刻操作的时间间隔内对光刻母版与四棱柱棱镜的相对位置进行调节,使得相邻两个入射面的光栅条纹具有固定相移。利用本发明提供的制备方法生产合光棱镜,川大智胜申请一种合光棱镜的制备方法光刻装置及三维测量装置专利,简化三维测量装置生产工艺无需耗费时间进行光栅掩模板的装调,从而简化了三维测量装置的生产工艺,缩短了生产流程,利于批量化生产,提高了生产效率。

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